粒子计数器流量精度

　　按照标准规定检定办法，使用国家检定机构标定的流量基准器，对比检定，以满足流量的准确性。

　　标准要求：±5%

　　规格精度：±5%

　　Kanomax出厂控制精度：±3%

　　流量稳定性

　　标况下，连续测试24小时，记录每分钟流量平均值，与流量基准器对比，以满足流量的稳定性。

　　标准要求：±5%

　　规格精度：±5%

　　Kanomax出厂控制精度：±3%

　　流量精度及稳定性检定办法

　　在洁净度等级为100级的洁净室内(温湿度，大气压满足环境校准要求)，采用经国家检定机构(可溯源)定期检定校准的设备，进行流量校准并记录各项数据。

　　使用定期经计量院标准(每年1次)的流量计作为基准流量计。将被测试器进气口用管与基准流量器相连接， 开启被测仪器进行测量。仪器进入工作状态后测试实际流量值1次，30分钟后再测量一次。如流量超差，对产品调整后反复调校，确保流量稳定并合格。

　　每台产品的流量精度严格控制在28.3±3%。即在27.5~29.1L/min范围内视为合格，每台产品必须填写记录单，作为初始数据。误差计算方法：

　　QL--两次实验流量均值 Qo--流量设定目标值

　　每台产品检定校正后均要进行24小时老化实验。按检定流程对产品再次进行检定，数值及误差均满足精度要求。最终确保每台产品的流量稳定性控制在±3%的范围内。

　　脉冲波高分布正态分布的特性检定办法

　　在洁净度等级为100级的洁净室内采用专业设备对产品的脉冲波高分布正态分布的特性进行检定校准。调整气溶胶发生器的各项参数，符合检定校准条件。保证被测通道粒子控制在4800~5200个/2.83L。

　　连接高速信号分析仪，同时打开波高分布测量软件”Calibration”，选择“Test Model”，打开0.5 um通道，开启3718A开始测量。 按软件界面上的“Reset start”键，开始显示0. 5um的波形。 60秒后单击“Stop Sample”停止测量。 观察0.5 um分布状态，幵保存波形。

　　计数效率(示值浓度误差)重复性

　　ISO 21501-4：

　　要求各通道粒子的计数效率不粒子基准器对比要低于±20%

　　国家标准JJF1190-2008

　　要求示值误差为±30%。 Kanomax公司: 各通道粒子的计数效率，使用Thermo Scientific标准粒子不基准器上一 通道1分钟累计的计数值，取10次平均值对比。 计数效率(示值误差)及重复性内控标准：±5%

　　计数效率(示值浓度误差)检定办法

　　在洁净度等级为100级洁净室内采用与业设备对产品的计数效率进行检 定校准。

　　调整气溶胶发生器的各项参数，符合检定校准条件。 使用Thermo Scientific标准粒子配置好的溶液，利用气溶胶发生器， 将粒子均匀稳定的发生出来。 将基准器和被测仪器的进口分布连接对应的等速吸引口，自净稳定 5min后开始测量。 分别取10次(每次1分钟)基准器和北测仪器的测量值，幵计算平均值。

　　粒径分布误差

　　ISO 21501-4：

　　要求各通道粒子的粒径分布误差均值丌超过±15%，国家标准JJF1190-2008 要求0.5μ粒径档粒径分布误差丌超过±30%。 Kanomax公司: 各通道粒子分布误差，利用 [Calibration Curve Software]对各通道粒径分 布进行分析 粒径分布误差内控标准： ±10%